Заседание № 1554 семинара им. А.А. Рухадзе теоретического отдела ИОФ РАН
Выступает:
В.В. Ковалев (МИРЭА)
Тема семинара:
Светодиодный эллипсометр со статичной схемой измерения оптических констант и толщин тонких пленок
Аннотация:
Исследование посвящено реализации модифицированного метода статической СЭ, при котором в измерительном тракте не используются подвижные поляризационные элементы. Сформулирована научная задача, заключающаяся в разработке информационно-измерительной системы контроля оптических констант и толщин тонких пленок, которая реализует модифицированный метод спектральной эллипсометрии со светодиодным широкодиапазонным источником излучения, обеспечивающей снижение погрешности и повышение сходимости измерений эллипсометрических параметров. Приведена методика экспериментальных исследований, метрологическая оценка характеристик ИИС, а также результаты экспериментов, подтверждающих полученные теоретические характеристики. В качестве естественного развития работы, в дальнейшем предполагается использование предложенной простой конструкции СЭ совместно с щелевыми монохроматорами и импульсными источниками излучения. Новый подход, развиваемый в работе, существенно расширяет измерительные возможности чувствительных эллипсометров с переключением ортогональных состояний поляризации. Исключение низкочастотных модуляторов поляризации уменьшает потери интенсивности пучков, упрощает конструкцию СЭ и позволяет существенно увеличить скорость эллипсометрических измерений с использованием скоростных импульсных источников излучения.
Дата: 12 мая 2021
Время: 10:30
Адрес: Семинар ТО проходит онлайн в программе BigBlueButton. (Ссылка для подключения)
Техническая информация:
(администратор Гусейн-заде Н.Г.). Доступ открывается за 10 минут до начала семинара. При подключении ввести в соответствующие поля ФИО. Для участия в дискуссии необходимо иметь микрофон и наушники. Докладчик сможет подключить презентацию в pdf формате, есть режим демонстрации экрана. Для сотрудников ИОФ РАН возможно полуочное участие в семинаре в конференц-зале корпуса № 9